(1)灭菌室：该部分为灭菌器的核心承压部件，是运行灭菌过程的载体。通常由腔体、舱门等组成一个密闭的空间。若具有等离子功能还配有网状电极。通过管路与真空系统、注入系统、进气系统等相连接。
(2)真空系统：该部分实现对灭菌室的抽真空等功能。真空性能与过氧化氢的汽化、扩散穿透效果密切相关。通常由真空泵、压力传感器、油雾过滤器、过氧化氢气体过滤器、抽空控制阀等组成。真空泵和压力传感器是实现真空的核心部件，影响真空性能的优劣。
(3)加注系统：该部分实现对过氧化氢灭菌剂的存放、定量、加注。
(4)汽化系统：该部分实现将加注的液态过氧化氢充分汽化，并均匀扩散到灭菌室内。目前产品大多采用先将过氧化氢溶液提纯，然后再汽化；也有部分产品采用直接汽化的方式。提纯过程就是将低浓度的过氧化氢提高到较高浓度。过氧化氢气体在扩散过程中会不断分解，纯度提高后，有利于提高气体的穿透能力，以保证灭菌效果。通常由提纯装置、加热装置(加热膜、加热棒等)、汽化室、电磁阀、温度检测装置等组成。
(5)控制系统：该部分实现对灭菌过程的压力、温度、时间等过程参数的控制、显示、输出，达到灭菌所需的量值和精度，并对预设周期参数进行监控。通常由控制装置、显示装置、数据记录装置等组成。
更新日期：2023-02-26 
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